Félvezető- és chiptokok és megoldások

/semiconductor-and-chip-cases-solutions/
/semiconductor-and-chip-cases-solutions/
/semiconductor-and-chip-cases-solutions/
/semiconductor-and-chip-cases-solutions/

A folyékony nitrogénes hűtőrendszereket széles körben használják a félvezető- és chipiparban, beleértve a

  • A Molecular Beam Epitaxy (MBE) technológiája
  • A chip tesztje a COB csomag után

Kapcsolódó termékek

MOLEKULÁRIS NYÁR EPITAXIA

A Molecular Beam Epitaxy (MBE) technológiáját az 1950-es években fejlesztették ki félvezető vékonyréteg anyagok vákuumpárologtatási technológiával történő előállítására.Az ultramagas vákuumtechnológia fejlődésével a technológia alkalmazása a félvezető-tudomány területére is kiterjedt.

A HL észrevette az MBE folyékony nitrogén hűtési rendszer, a szervezett műszaki gerinc iránti igényt egy speciális MBE folyékony nitrogén hűtési rendszer sikeres kifejlesztéséhez az MBE technológiához és a vákuumszigetelt csőrendszer teljes készletéhez, amelyet számos vállalkozás, egyetem és kutatóintézet alkalmaz. .

A félvezető- és chipipar gyakori problémái a következők:

  • A folyékony nitrogén nyomása a terminál (MBE) berendezésében.Akadályozza meg a túlnyomásos túlterhelést a terminál (MBE) berendezésének károsodásától.
  • Több kriogén folyadék bemeneti és kimeneti vezérlőelem
  • A folyékony nitrogén hőmérséklete a végberendezésekben
  • Ésszerű mennyiségű kriogéngáz-kibocsátás
  • (Automatikus) Fő- és mellékvonal váltás
  • Nyomásbeállítás (csökkentés) és VIP stabilitása
  • Az esetleges szennyeződések és jégmaradványok eltávolítása a tartályból
  • A terminál folyékony berendezésének töltési ideje
  • Csővezeték előhűtés
  • Folyadékellenállás a VIP rendszerben
  • A folyékony nitrogén veszteségének szabályozása a rendszer nem folyamatos szervizelése során

A HL vákuumszigetelt csője (VIP) az ASME B31.3 nyomáscsövek szabvány szerint készült.Mérnöki tapasztalat és minőség-ellenőrzési képesség az ügyfél üzemének hatékonyságának és költséghatékonyságának biztosítására.

MEGOLDÁSOK

A HL Cryogenic Equipment vákuumszigetelt csőrendszert kínál ügyfeleinek, hogy megfeleljen a félvezető- és chipipar követelményeinek és feltételeinek:

1. Minőségirányítási rendszer: ASME B31.3 nyomáscsövek kódja.

2. A több kriogén folyadékbemenettel és -kimenettel rendelkező, automatikus vezérlési funkcióval rendelkező speciális fázisleválasztó megfelel a gázkibocsátásra, az újrahasznosított folyékony nitrogénre és a folyékony nitrogén hőmérsékletére vonatkozó követelményeknek.

3. A megfelelő és időszerű kipufogó-tervezés biztosítja, hogy a végberendezés mindig a tervezett nyomásértéken belül működjön.

4. A gáz-folyadék gátat a VI csővezeték végén lévő függőleges VI csőben kell elhelyezni.A Gas-Liquid Barrier a gázzár elvét használja, hogy blokkolja a hőt a VI csővezeték végétől a VI csővezetékbe, és hatékonyan csökkenti a folyékony nitrogén veszteségét a rendszer nem folyamatos és szakaszos üzemelése során.

5.VI Vákuumszigetelt szelep (VIV) sorozat által vezérelt csövek: Vákuumszigetelt (pneumatikus) elzárószelepet, vákuumszigetelt visszacsapó szelepet, vákuumszigetelt szabályozószelepet stb. kívánt.A VIV integrálva van a gyártó VIP előregyártásával, helyszíni szigetelés nélkül.A VIV tömítőegysége egyszerűen cserélhető.(A HL elfogadja az ügyfelek által megjelölt kriogén szelepmárkát, majd a HL által gyártott vákuumszigetelt szelepeket. Előfordulhat, hogy egyes szelepmárkák és -modellek nem készíthetők vákuumszigetelt szelepekké.)

6. Tisztaság, ha további követelmények vonatkoznak a belső cső felületének tisztaságára.Javasoljuk, hogy az ügyfelek BA vagy EP rozsdamentes acél csöveket válasszanak VIP belső csövekként, hogy tovább csökkentsék a rozsdamentes acél kiömlését.

7. Vákuumszigetelt szűrő: Tisztítsa meg a lehetséges szennyeződéseket és jégmaradványokat a tartályból.

8. Néhány napos vagy hosszabb leállás vagy karbantartás után nagyon szükséges a VI csővezeték és a végberendezések előhűtése a kriogén folyadék bejutása előtt, hogy elkerüljük a jégsalakot, miután a kriogén folyadék közvetlenül a VI csővezetékbe és a végberendezésbe kerül.A tervezés során figyelembe kell venni az előhűtési funkciót.Jobb védelmet nyújt a végberendezések és a VI csővezeték-támasztó berendezések, például a szelepek számára.

9. Alkalmas dinamikus és statikus vákuumszigetelésű (rugalmas) csőrendszerhez.

10. Dinamikus vákuumszigetelt (rugalmas) csőrendszer: VI rugalmas tömlőkből és/vagy VI csőből, áthidaló tömlőkből, vákuumszigetelt szeleprendszerből, fázisleválasztóból és dinamikus vákuumszivattyú-rendszerből áll (beleértve a vákuumszivattyúkat, mágnesszelepeket és vákuummérőket stb.). ).Az egyetlen VI Flexible Hose hossza a felhasználó igényei szerint testreszabható.

11. Különféle csatlakozási típusok: Vákuumos bajonett csatlakozás (VBC) típus és hegesztett csatlakozás választható.A VBC típus nem igényel helyszíni szigetelést.