A folyékony nitrogénes hűtőrendszereket széles körben használják a félvezető- és chipiparban, beleértve a
- A Molecular Beam Epitaxy (MBE) technológiája
- A chip tesztje a COB csomag után
Kapcsolódó termékek
Vákuumszigetelt csősorozat
Vákuumszigetelt hajlékony tömlő sorozat
Dinamikus vákuumszivattyús rendszer
Vákuumszigetelt fázisleválasztó sorozat
Vákuumszigetelt szelep sorozat
Csővezetékrendszer-támogató berendezések
MOLEKULÁRIS NYÁR EPITAXIA
A Molecular Beam Epitaxy (MBE) technológiáját az 1950-es években fejlesztették ki félvezető vékonyréteg anyagok vákuumpárologtatási technológiával történő előállítására. Az ultramagas vákuumtechnológia fejlődésével a technológia alkalmazása a félvezető-tudomány területére is kiterjedt.
A HL észrevette az MBE folyékony nitrogén hűtési rendszer, a szervezett műszaki gerinc iránti igényt egy speciális MBE folyékony nitrogén hűtési rendszer sikeres kifejlesztéséhez az MBE technológiához és a vákuumszigetelt csőrendszer teljes készletéhez, amelyet számos vállalkozás, egyetem és kutatóintézet alkalmaz. .
A félvezető- és chipipar gyakori problémái a következők:
- A folyékony nitrogén nyomása a terminál (MBE) berendezésében. Akadályozza meg a túlnyomásos túlterhelést a terminál (MBE) berendezésének károsodásától.
- Több kriogén folyadék bemeneti és kimeneti vezérlőelem
- A folyékony nitrogén hőmérséklete a végberendezésekben
- Ésszerű mennyiségű kriogéngáz-kibocsátás
- (Automatikus) Fő- és mellékvonal váltás
- Nyomásbeállítás (csökkentés) és VIP stabilitása
- Az esetleges szennyeződések és jégmaradványok eltávolítása a tartályból
- A terminál folyékony berendezésének töltési ideje
- Csővezeték előhűtés
- Folyadékellenállás a VIP rendszerben
- A folyékony nitrogén veszteségének szabályozása a rendszer nem folyamatos szervizelése során
A HL vákuumszigetelt csője (VIP) az ASME B31.3 nyomáscsövek szabvány szerint készült. Mérnöki tapasztalat és minőség-ellenőrzési képesség az ügyfél üzemének hatékonyságának és költséghatékonyságának biztosítására.
MEGOLDÁSOK
A HL Cryogenic Equipment vákuumszigetelt csőrendszert kínál ügyfeleinek, hogy megfeleljen a félvezető- és chipipar követelményeinek és feltételeinek:
1. Minőségirányítási rendszer: ASME B31.3 nyomáscsövek kódja.
2. A több kriogén folyadékbemenettel és -kimenettel rendelkező speciális fázisleválasztó automatikus vezérlési funkcióval megfelel a gázkibocsátás, az újrahasznosított folyékony nitrogén és a folyékony nitrogén hőmérsékletének követelményeinek.
3. A megfelelő és időszerű kipufogó-tervezés biztosítja, hogy a végberendezés mindig a tervezett nyomásértéken belül működjön.
4. A gáz-folyadék gátat a VI csővezeték végén lévő függőleges VI csőben kell elhelyezni. A Gas-Liquid Barrier a gáztömítés elvét használja, hogy blokkolja a hőt a VI csővezeték végétől a VI csővezetékbe, és hatékonyan csökkenti a folyékony nitrogén veszteségét a rendszer nem folyamatos és szakaszos üzemelése során.
5.VI Vákuumszigetelt szelep (VIV) sorozat által vezérelt csövek: Vákuumszigetelt (pneumatikus) elzárószelepet, vákuumszigetelt visszacsapó szelepet, vákuumszigetelt szabályozószelepet stb. kívánt. A VIV integrálva van a gyártó VIP előregyártásával, helyszíni szigetelés nélkül. A VIV tömítőegysége egyszerűen cserélhető. (A HL elfogadja az ügyfelek által megjelölt kriogén szelepmárkát, majd a HL által gyártott vákuumszigetelt szelepeket. Előfordulhat, hogy egyes szelepmárkák és -modellek nem készíthetők vákuumszigetelt szelepekké.)
6. Tisztaság, ha további követelmények vonatkoznak a belső cső felületének tisztaságára. Javasoljuk, hogy az ügyfelek BA vagy EP rozsdamentes acél csöveket válasszanak VIP belső csövekként, hogy tovább csökkentsék a rozsdamentes acél kiömlését.
7. Vákuumszigetelt szűrő: Tisztítsa meg a lehetséges szennyeződéseket és jégmaradványokat a tartályból.
8. Néhány napos vagy hosszabb leállás vagy karbantartás után nagyon szükséges a VI csővezeték és a végberendezések előhűtése a kriogén folyadék bejutása előtt, hogy elkerüljük a jégsalakot, miután a kriogén folyadék közvetlenül a VI csővezetékbe és a végberendezésbe kerül. A tervezésnél figyelembe kell venni az előhűtési funkciót. Jobb védelmet nyújt a végberendezések és a VI csővezeték-támasztó berendezések, például a szelepek számára.
9. Alkalmas dinamikus és statikus vákuumszigetelésű (rugalmas) csőrendszerhez.
10. Dinamikus vákuumszigetelt (rugalmas) csőrendszer: VI rugalmas tömlőkből és/vagy VI csőből, áthidaló tömlőkből, vákuumszigetelt szeleprendszerből, fázisleválasztóból és dinamikus vákuumszivattyú-rendszerből áll (beleértve a vákuumszivattyúkat, mágnesszelepeket és vákuummérőket stb.). ). Az egyetlen VI Flexible Hose hossza a felhasználó igényei szerint testreszabható.
11. Különféle csatlakozási típusok: Vákuumos bajonett csatlakozás (VBC) típus és hegesztett csatlakozás választható. A VBC típus nem igényel helyszíni szigetelést.
