A folyékony nitrogénes hűtőrendszereket széles körben használják a félvezető- és chipiparban, beleértve a következőket:
- A molekulasugaras epitaxia (MBE) technológiája
- A chip tesztje COB tokozás után
Kapcsolódó termékek
Vákuumszigetelt csősorozat
Vákuumszigetelésű flexibilis tömlősorozat
Dinamikus vákuumszivattyú rendszer
Vákuumszigetelt fázisleválasztó sorozat
Vákuumszigetelésű szelepsorozat
Csővezeték-rendszer támogató berendezések
MOLEKULÁRIS NYÚLÉKONY EPITAXIA
A molekulasugaras epitaxia (MBE) technológiáját az 1950-es években fejlesztették ki félvezető vékonyréteg-anyagok vákuumpárologtatásos technológiával történő előállítására. Az ultra-nagyvákuum technológia fejlődésével a technológia alkalmazása kiterjedt a félvezető tudomány területére is.
A HL felismerte az MBE folyékony nitrogénes hűtőrendszer iránti igényt, és megszervezte a műszaki hátteret egy speciális MBE folyékony nitrogénes hűtőrendszer sikeres kifejlesztéséhez az MBE technológiához, valamint egy komplett vákuumszigetelésű csőrendszerhez, amelyet számos vállalatnál, egyetemen és kutatóintézetben alkalmaznak.
A félvezető- és chipipar gyakori problémái a következők:
- A folyékony nitrogén nyomása a terminálberendezésekben. A terminálberendezések károsodása okozta nyomástúlterhelés megelőzése.
- Több kriogén folyadék bemeneti és kimeneti vezérlő
- A folyékony nitrogén hőmérséklete a terminálberendezésekben
- Ésszerű mennyiségű kriogén gázkibocsátás
- (Automatikus) Fő- és mellékvezetékek váltása
- A VIP nyomásbeállítása (csökkentése) és stabilitása
- A tartály tisztítása a lehetséges szennyeződésektől és jégmaradványoktól
- A terminál folyékonyanyag-szállító berendezésének feltöltési ideje
- Csővezeték előhűtése
- Folyadékellenállás a VIP rendszerben
- A folyékony nitrogén veszteségének szabályozása a rendszer szakaszos üzeme során
A HL vákuumszigetelésű csövei (VIP) az ASME B31.3 nyomáscsövezési szabvány szerint készülnek. Mérnöki tapasztalat és minőségellenőrzési képesség biztosítja az ügyfél üzemének hatékonyságát és költséghatékonyságát.
MEGOLDÁSOK
A HL Cryogenic Equipment vákuumszigetelt csőrendszereket kínál ügyfeleinek, hogy megfeleljenek a félvezető- és chipipar követelményeinek és feltételeinek:
1. Minőségirányítási rendszer: ASME B31.3 Nyomásvezeték-kód.
2. Egy speciális fázisszeparátor többszörös kriogén folyadék bemenettel és kimenettel, automatikus vezérlőfunkcióval, megfelel a gázkibocsátás, az újrahasznosított folyékony nitrogén és a folyékony nitrogén hőmérsékletének követelményeinek.
3. A megfelelő és időszerű kipufogórendszer-tervezés biztosítja, hogy a végberendezések mindig a tervezett nyomásértéken belül működjenek.
4. A gáz-folyadék gátat a függőleges VI csőben, a VI csővezeték végén helyezik el. A gáz-folyadék gát a gáztömítés elvét alkalmazza, hogy blokkolja a hőt a VI csővezeték végéből a VI csővezetékbe, és hatékonyan csökkentse a folyékony nitrogén veszteségét a rendszer szakaszos és szakaszos üzeme során.
5. Vákuumszigetelésű szelep (VIV) sorozat által vezérelt VI csővezetékek: Tartalmaz vákuumszigetelésű (pneumatikus) elzárószelepet, vákuumszigetelésű visszacsapó szelepet, vákuumszigetelésű szabályozószelepet stb. Különböző típusú VIV szelepek modulárisan kombinálhatók a VIP igény szerinti vezérléséhez. A VIV gyártóilag előre gyártott VIP-vel van integrálva, helyszíni szigetelési kezelés nélkül. A VIV tömítőegysége könnyen cserélhető. (A HL elfogadja az ügyfelek által megadott kriogén szelep márkát, majd vákuumszigetelésű szelepeket gyárt. Előfordulhat, hogy egyes márkájú és típusú szelepekből nem lehet vákuumszigetelésű szelepet készíteni.)
6. Tisztaság, ha további követelmények vannak a belső cső felületének tisztaságával kapcsolatban. Javasoljuk, hogy az ügyfelek BA vagy EP rozsdamentes acélcsöveket válasszanak VIP belső csőként a rozsdamentes acél kiömlésének további csökkentése érdekében.
7. Vákuumszigetelt szűrő: Tisztítsa meg a tartályt a szennyeződésektől és a jégmaradványoktól.
8. Néhány napos vagy hosszabb leállás vagy karbantartás után nagyon fontos a VI csővezetékek és a végberendezések előhűtése, mielőtt a kriogén folyadék bejutna a rendszerbe, hogy elkerüljük a jégképződést, miután a kriogén folyadék közvetlenül a VI csővezetékekbe és a végberendezésekbe kerül. Az előhűtési funkciót a tervezés során figyelembe kell venni. Ez jobb védelmet nyújt a végberendezéseknek és a VI csővezeték-támogató berendezéseknek, például a szelepeknek.
9. Dinamikus és statikus vákuumszigetelésű (flexibilis) csőrendszerekhez egyaránt alkalmas.
10. Dinamikus vákuumszigetelésű (flexibilis) csőrendszer: VI flexibilis tömlőkből és/vagy VI csőből, áthidaló tömlőkből, vákuumszigetelésű szeleprendszerből, fázisszétválasztókból és dinamikus vákuumszivattyú-rendszerből (beleértve a vákuumszivattyúkat, mágnesszelepeket és vákuummérőket stb.) áll. Az egyes VI flexibilis tömlők hossza a felhasználó igényei szerint testreszabható.
11. Különböző csatlakozási típusok: Vákuumos bajonettzáras (VBC) és hegesztett csatlakozás választható. A VBC típus nem igényel helyszíni szigetelést.
