A folyékony nitrogénhűtési rendszereket széles körben használják a félvezető és a chipiparban, ideértve a folyamatokat,
- A molekuláris sugár epitaxia (MBE) technológiája
- A chip teszt a COB csomag után
Kapcsolódó termékek
Vákuumszigetelt csősorozat
Vákuumszigetelt rugalmas tömlő sorozat
Dinamikus vákuumszivattyú rendszer
Vákuumszigetelt fázis elválasztó sorozat
Vákuumszigetelt szelep sorozat
Csővezeték -támogató berendezés
Molekuláris sugár epitaxia
Az 1950 -es években a molekuláris sugár epitaxia (MBE) technológiáját fejlesztették ki, hogy vákuum párologtatási technológiával előállítsák a félvezető vékony film anyagokat. Az ultra-magas vákuumtechnika fejlesztésével a technológia alkalmazását kiterjesztették a félvezető tudomány területére.
A HL észrevette az MBE folyékony nitrogénhűtési rendszer, a szervezett műszaki gerinc igényét az MBE technológiához szükséges speciális MBE folyékony nitrogénhéjrendszer sikeres kidolgozására, és a teljes vákuumszigetelt csővezeték -készletet, amelyet számos vállalkozásban, egyetemekben és kutatóintézetekben használtak, amelyeket alkalmaztak -
A félvezető és a chipipar általános problémái között szerepel a
- A folyékony nitrogén nyomása terminál (MBE) berendezésbe. A nyomás túlterhelésének megakadályozása a káros terminál (MBE) berendezésektől.
- Több kriogén folyékony bemeneti és kimeneti vezérlőelem
- A folyékony nitrogén hőmérséklete a terminál berendezésekbe
- Ésszerű mennyiségű kriogén gázkibocsátás
- (Automatikus) A fő- és ágvezetékek váltása
- Nyomás beállítása (csökkentése) és a VIP stabilitása
- A lehetséges szennyeződések és jégmaradékok megtisztítása a tartályból
- A terminál folyékony berendezések töltési ideje
- Csővezeték -ellátás
- Folyékony ellenállás a VIP rendszerben
- A folyékony nitrogén elvesztésének ellenőrzése a rendszer szakaszos kiszolgálása során
A HL vákuumszigetelt csőjét (VIP) az ASME B31,3 nyomáscsövek kódjához építették. Műszaki tapasztalat és minőség-ellenőrzési képesség az ügyfél üzemének hatékonyságának és költséghatékonyságának biztosítása érdekében.
Oldatok
A HL kriogén berendezések biztosítják az ügyfelek számára a vákuumszigetelt csővezeték rendszert, hogy megfeleljenek a félvezető és a chipipar követelményeinek és feltételeinek:
1. Kinőségkezelő rendszer: ASME B31.3 Nyomáscsövek kódja.
2. A több kriogén folyadék bemeneti és automatikus vezérlési funkcióval rendelkező speciális fázis elválasztó megfelel a gázkibocsátás, az újrahasznosított folyékony nitrogén és a folyékony nitrogén hőmérsékletének követelményének.
3.Az elégséges és időszerű kipufogó kialakítás biztosítja, hogy a terminálfelszerelés mindig a tervezett nyomásértéken belül működjön.
( A gáz-folyadék-gát a gáztömítés elvét használja a VI-csővezeték végétől a VI-csövekbe történő blokkoláshoz, és hatékonyan csökkenti a folyékony nitrogén elvesztését a rendszer szakaszos és szakaszos szervizelésekor.
5.VI csővezeték, amelyet a vákuumszigetelt szelep (VIV) sorozat vezérel: beleértve a vákuumszigetelt (pneumatikus) elzárószelepet, a vákuumszigetelt ellenőrző szelepet, a vákuumszigetelő szabályozó szelep stb. kívánt. A VIV integrálódik a VIP előfabályozásával a gyártóban, a helyszíni szigetelt kezelés nélkül. A VIV pecsét egységét könnyen cserélhető. (A HL elfogadja az ügyfelek által kijelölt kriogén szelepmárkát, majd a HL vákuumszigetelt szelepeket készít. Néhány márkát és modellt nem lehet vákuumszigetelt szelepekké készíteni.)
6.Cleaninity, ha vannak további követelmények a belső cső felületének tisztaságára. Javasoljuk, hogy az ügyfelek a BA vagy az EP rozsdamentes acélcsöveket VIP belső csövekként válasszanak a rozsdamentes acél kiömlés további csökkentése érdekében.
7. Vacuum szigetelt szűrő: Tisztítsa meg a lehetséges szennyeződéseket és jégmaradékot a tartályból.
8.A néhány napig vagy hosszabb ideig tartó leállítás vagy karbantartás után nagyon szükséges a VI csövek és a csatlakozó berendezések beillesztése előtt, hogy elkerüljék a jégnaplót, miután a kriogén folyadék közvetlenül belép a VI csövekbe és a terminál berendezésekbe. Az elülepítési funkciót a tervezés során figyelembe kell venni. Jobb védelmet nyújt a terminál berendezések és a VI csővezeték -tartóberendezések, például a szelepek számára.
9.A dinamikus és statikus vákuumszigetelt (rugalmas) csővezeték -rendszerek.
10.Dynamic vákuumszigetelt (rugalmas) csővezeték -rendszer: VI rugalmas tömlőkből és/vagy VI csőből, jumper tömlőkből, vákuumszigetelt szeleprendszerből, fázis elválasztókból és dinamikus vákuumszivattyú -rendszerből áll (beleértve a vákuumszivattyúkat, a mágnesszelepet és a vákuum -vákuumot stb. ). Az egyetlen VI rugalmas tömlő hossza testreszabható a felhasználói igények szerint.
11. A VBC típusnak nincs szüksége a helyszíni szigetelt kezelésre.
