Az elmúlt években befejezett Chip MBE projekt

Technológia

A molekulasugaras epitaxia, vagy MBE, egy új technika kiváló minőségű, vékony kristályrétegek növesztésére kristályhordozókon. Ultra-nagy vákuumban, a fűtőkályhával mindenféle szükséges alkatrészt felszerelnek, és gőzt termelnek, az atom- vagy molekulasugarat kollimáló lyukakon keresztül, közvetlenül az egykristályos hordozó megfelelő hőmérsékletére injektálva, a molekulasugarat a hordozóra irányítva és egyidejűleg pásztázva, a kristályok illesztési rétegeiben lévő molekulákat vagy atomokat vékony film „növesztésére” képes előidézni a hordozón.

Az MBE berendezések normál működéséhez nagy tisztaságú, alacsony nyomású és ultratiszta folyékony nitrogént kell folyamatosan és stabilan szállítani a berendezés hűtőkamrájába. Általában egy folyékony nitrogént szolgáltató tartály kimeneti nyomása 0,3 MPa és 0,8 MPa között van. A -196 ℃-os folyékony nitrogén könnyen elpárolog nitrogénné a csővezetékben történő szállítás során. Miután a körülbelül 1:700 gáz-folyadék arányú folyékony nitrogén elgázosodik a csővezetékben, nagy mennyiségű folyékony nitrogén áramlási teret foglal el, és csökkenti a normál áramlást a folyékony nitrogén csővezeték végén. Ezenkívül a folyékony nitrogén tárolótartályban valószínűleg lesz tisztítatlan törmelék. A folyékony nitrogén csővezetékében a nedves levegő jelenléte jégsalak képződéséhez is vezet. Ha ezek a szennyeződések a berendezésbe kerülnek, az kiszámíthatatlan károkat okozhat a berendezésben.

Ezért a kültéri tárolótartályban lévő folyékony nitrogént nagy hatékonysággal, stabilitással és tisztasággal szállítják az MBE berendezésbe a pormentes műhelyben, alacsony nyomáson, nitrogén és szennyeződések nélkül, 24 órás megszakítás nélkül, így az ilyen szállításvezérlő rendszer minősített termék.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Megfelelő MBE berendezések

A HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) 2005 óta optimalizálja és fejleszti ezt a rendszert, valamint együttműködik nemzetközi MBE berendezésgyártókkal. Az MBE berendezésgyártók, köztük a DCA és a REBER, együttműködési kapcsolatban állnak cégünkkel. Az MBE berendezésgyártók, köztük a DCA és a REBER, számos projektben működtek együtt velünk.

A Riber SA a molekulasugaras epitaxia (MBE) termékek és kapcsolódó szolgáltatások vezető globális szállítója a félvezető-vegyületek kutatásához és ipari alkalmazásokhoz. A Riber MBE berendezés nagyon vékony anyagrétegek felvitelére képes a hordozóra, nagyon magas szintű szabályozással. A HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) vákuumberendezése Riber SA berendezéssel van felszerelve. A legnagyobb berendezés a Riber 6000, a legkisebb pedig a Compact 21. Jó állapotban van, és az ügyfelek is elismerték.

A DCA a világ vezető oxid MBE gyártója. 1993 óta folyik az oxidációs technikák, az antioxidáns szubsztrát fűtés és az antioxidáns források szisztematikus fejlesztése. Emiatt számos vezető laboratórium választotta a DCA oxid technológiát. A kompozit félvezető MBE rendszereket világszerte használják. A HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) VJ folyékony nitrogén keringető rendszere és a DCA több modelljének MBE berendezései számos projektben hasonló tapasztalattal rendelkeznek, mint például a P600, R450, SGC800 stb. modellek.

tcm (2)

Teljesítménytáblázat

Sanghaji Műszaki Fizikai Intézet, Kínai Tudományos Akadémia
A Kínai Elektronikai Technológiai Vállalat 11. Intézete
Félvezető Intézet, Kínai Tudományos Akadémia
Huawei
Alibaba DAMO Akadémia
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Közzététel ideje: 2021. május 26.

Hagyja üzenetét