Hírek – A Chip MBE projekt az elmúlt években befejeződött

Technológia

A molekuláris nyaláb epitaxia vagy az MBE egy új technika kiváló minőségű vékony kristályfilmek kristályhordozókon történő termesztésére. Ultramagas vákuumkörülmények között a fűtőtűzhely minden szükséges komponenssel fel van szerelve, és gőzt generál a sugárnyaláb atom- vagy molekuláris sugár kollimálása után keletkező lyukakon keresztül, közvetlen befecskendezéssel az egykristály szubsztrátum megfelelő hőmérsékletére, szabályozva a molekuláris sugarat A szubsztrát szkennelése egyidejűleg képes a molekulákat vagy atomokat a kristály igazító rétegekben vékony filmet képezni a szubsztrát "növekedésén".

Az MBE berendezések normál működéséhez nagy tisztaságú, alacsony nyomású és ultratiszta folyékony nitrogént kell folyamatosan és stabilan szállítani a berendezés hűtőkamrájába. Általában a folyékony nitrogént biztosító tartály kimeneti nyomása 0,3 MPa és 0,8 MPa között van. A folyékony nitrogén -196 °C-on könnyen elpárolog nitrogénné a csővezetékes szállítás során. Miután a körülbelül 1:700 gáz-folyadék arányú folyékony nitrogént elgázosítják a csővezetékben, az nagy mennyiségű folyékony nitrogén áramlási teret foglal el, és csökkenti a normál áramlást a folyékony nitrogén csővezeték végén. Ezenkívül a folyékony nitrogén tároló tartályban valószínűleg olyan törmelék található, amelyet nem tisztítottak meg. A folyékony nitrogén vezetékben a nedves levegő jelenléte jégsalak képződését is eredményezi. Ha ezek a szennyeződések a berendezésbe kerülnek, az előre nem látható károkat okoz a berendezésben.

Ezért a kültéri tárolótartályban lévő folyékony nitrogént a pormentes műhelyben lévő MBE berendezésbe szállítják nagy hatékonysággal, stabilan és tisztán, és alacsony nyomáson, nitrogén nélkül, szennyeződések nélkül, 24 órán át megszakítás nélkül, az ilyen szállítási vezérlőrendszer minősített termék.

Megfelelő MBE felszereltség

A HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) 2005 óta optimalizálja és fejleszti ezt a rendszert, és együttműködik a nemzetközi MBE berendezések gyártóival. Az MBE berendezésgyártók, köztük a DCA, a REBER, együttműködő kapcsolatban állnak cégünkkel. Az MBE berendezésgyártók, köztük a DCA és a REBER, számos projektben működtek együtt.

A Riber SA a molekuláris nyaláb epitaxiás (MBE) termékek és kapcsolódó szolgáltatások vezető globális szállítója az összetett félvezetők kutatásához és ipari alkalmazásokhoz. A Riber MBE készülék nagyon vékony anyagrétegeket képes lerakni az aljzatra, nagyon magas ellenőrzés mellett. A HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) vákuumberendezése Riber SA-val van felszerelve. A legnagyobb berendezés a Riber 6000, a legkisebb pedig a Compact 21. Jó állapotban van, és az ügyfelek elismerték.

A DCA a világ vezető oxid-MBE-je. 1993 óta az oxidációs technikák, az antioxidáns szubsztrát melegítés és az antioxidáns források szisztematikus fejlesztése folyik. Emiatt számos vezető laboratórium választotta a DCA-oxid technológiát. A kompozit félvezető MBE rendszereket világszerte használják. A HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) VJ folyékony nitrogén keringtető rendszere és a DCA több modelljének MBE berendezése számos projektben megfelelő tapasztalattal rendelkezik, mint például a P600, R450, SGC800 stb.